核心觀點：

3 月合計4 項招標，主要為中芯國際、華虹半導體和燕東微電子招標，招標設備主要包括研磨拋光和清洗等品類。根據采招網的數據，2025年3 月，統計樣本中的晶圓產線合計產生4 項招標。主要為中芯國際、華虹半導體和燕東微電子招標。招標設備主要包括研磨拋光和清洗等品類。2025 年1-3 月，統計樣本中的晶圓產線合計招標15 項，其中，積塔半導體、燕東微電子、中芯國際的招標量位居前三。整體而言，設備招標以檢測、研磨拋光等為主。

1-3 月合計11 項中標，以檢測和離子注入設備居多，中標設備里國產設備整體中標比例約82%。中標方面，根據采招網的數據，2025 年3月，統計樣本中的晶圓產線上中標1 臺檢測設備。2025 年1-3 月，統計樣本中的晶圓產線合計中標11 臺設備，以檢測和離子注入設備居多；國產設備整體中標比例約82%，其中，刻蝕、退火、去膠、研磨拋光、離子注入設備的國產中標比例較高。

1-3 月統計樣本中的國內設備廠商共中標4 臺設備，主要為中科飛測、華海清科、中科信中標。根據采招網的數據，2025 年1 月，統計樣本中的國內半導體設備廠商合計中標3 臺設備，中科信中標的2 臺離子注入設備，在對應工藝環節的中標比例為100%，華海清科中標的1 臺研磨拋光設備，在對應工藝環節的中標比例為100%。2025 年2 月，中科飛測中標的1 臺檢測設備，在對應工藝環節的中標比例為33%。

2025 年1-3 月，統計樣本中的國內半導體設備廠商合計中標4 臺設備，統計樣本中的國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環節的中標比例為57%。其中，華海清科的研磨拋光設備、中科信的離子注入設備、中科飛測的檢測設備在對應工藝環節的中標比例分別為100%/100%/25%。

投資建議：在本土晶圓產能持續擴張、半導體制造技術迭代升級和國產替代加速突破的趨勢下，國內半導體設備市場持續擴容。國產半導體設備廠商依托公司自身的產品競爭力、持續拓展的可服務市場空間和品類擴張能力，有望持續受益于設備市場規模的擴張和國產替代進程的深入，成長速度和空間均十分顯著。建議關注在半導體核心工藝環節強勢卡位和今年有新品類拓展的公司：北方華創、中微公司*、拓荊科技、中科飛測、華海清科、盛美上海*、萬業企業、芯源微、華峰測控*、長川科技*等標的。（帶*標的為與廣發機械聯合覆蓋）

風險提示：市場需求不及預期，研發不及預期，市場開拓不及預期。

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轉自廣發證券股份有限公司 研究員：王亮/耿正/焦鼎