內容概要：半導體濕法設備超純槽體是半導體濕法設備用于盛放晶圓片、化學清洗液、去離子水等物品的容器，是半導體濕法設備的關鍵部件。近年來，隨著科技的不斷進步，國產半導體清洗設備不斷精進，半導體清洗設備的超純槽體成本增加。2024年我國半導體清洗設備的超純槽體成本約為21萬元，較2023年增長3.5萬元。半導體濕法設備超純槽體作為半導體濕法設備的“心臟”，市場規模逐漸增長。2024年我國半導體濕法設備超純槽體市場規模約為3.03億元，較2023年增長0.22億元。

上市企業：至純科技[603690]、北方華創[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037]

相關企業：江蘇沃凱氟、上海沃特華本半導體、蘇州霓佳斯、蘇州芯矽科技、浙江孚諾林、東岳集團、內蒙三愛富、阿科瑪、巨化股份、山東華安、常熟蘇威、中化藍天、日本株式會社、乳源東陽光氟、昊華科技

關鍵詞：半導體濕法設備超純槽體市場規模、半導體濕法設備超純槽體市場競爭格局、半導體濕法設備超純槽體行業發展前景

一、半導體濕法設備超純槽體行業定義及特性

半導體濕法設備超純槽體是半導體濕法設備用于盛放晶圓片、化學清洗液、去離子水等物品的容器。半導體濕法設備關鍵零部件之一，確保晶圓表面在濕法處理過程中不受污染，保障芯片制造的良率和可靠性。其核心特性主要有超高潔凈度、耐腐蝕性、溫度控制、密封性待。

二、半導體濕法設備超純槽體行業發展現狀

半導體濕法設備超純槽體是半導體濕法設備的關鍵部件，主要用于容納高純度化學試劑（如氫氟酸、硫酸、氨水等），在晶圓清洗、蝕刻、去膠等工藝中提供穩定、無污染的化學反應環境。近年來，國產半導體清洗設備不斷精進，是半導體設備中國產化率較高的類別之一。2024年我國半導體清洗設備的超純槽體成本約為21萬元，較2023年增長3.5萬元。

超純槽體是半導體濕法工藝中的核心組件，是半導體濕法設備的“心臟”。隨著科技的不斷進步，我國半導體濕法設備快速發展，同時，半導體濕法設備超純槽體市場規模也逐漸增長。2024年，我國半導體濕法設備超純槽體市場規模約為3.03億元，較2023年增長0.22億元。

相關報告：智研咨詢發布的《中國半導體濕法設備超純槽體行業市場現狀調查及投資前景研判報告》

三、半導體濕法設備超純槽體行業產業鏈

1、半導體濕法設備超純槽體行業產業鏈結構

半導體濕法設備超純槽體行業產業鏈上游主要包括FTFE、PFA、PVDF等原材料，以及注塑機、擠出機、加工中心等加工設備；行業中游為半導體濕法設備超純槽體生產制造；行業下游應用于半導體濕法設備。

2、半導體濕法設備超純槽體行業產業鏈上游-PVDF

PVDF樹脂被長期用于半導體行業管路系統、濕式工作臺、以及芯片制造設備內的其他裝備，帶來優異的超高純度和耐化學性能。近年來，PVDF市場規模呈逐年增長趨勢，2024年我國PVDF市場規模約為350億元。

3、半導體濕法設備超純槽體行業產業鏈下游-半導體清洗設備

半導體濕法設備超純槽體主要應用于半導體清洗設備領域。近年來，隨著國內半導體行業的快速發展，我國半導體清洗設備市場也呈現出強勁的增長勢頭。2024年中國半導體清洗設備市場規模為158.82億元，較2023年增加30.71億元；預計2025年中國半導體清洗設備市場規模有望達到195億元。

四、半導體濕法設備超純槽體行業競爭格局

半導體濕法設備超純槽體對產品的技術要求較高，全球半導體濕法設備超純槽體市場主要由幾家主要企業占據主導地位，其中日本廠商迪恩士（DNS）占據領先地位。目前我國能夠生產滿足半導體制造要求的主要有沃凱氟、沃特華本、霓佳斯等企業。隨著制程微縮與綠色制造需求，未來半導體濕法設備超純槽體將向更高純度、智能化監控、長壽命方向發展。隨著國內企業如至純科技、北方華創等加大自主槽體研發，國產替代加速。

以上數據及信息可參考智研咨詢（www.szxuejia.com）發布的《中國半導體濕法設備超純槽體行業市場現狀調查及投資前景研判報告》。智研咨詢是中國領先產業咨詢機構，提供深度產業研究報告、商業計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產業咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業動態。