科研人員研發出鈦基納米復合涂層新工藝

電子材料 2022-05-30 16:46

俄羅斯烏拉爾聯邦大學和俄羅斯科學院烏拉爾分院電物理研究所科研人員聯合研發出一種鈦基四組分納米復合涂層TiSiCN（鈦、硅、碳、氮）新工藝，可作為耐磨性保護涂層用于保護飛機和燃氣渦輪發動機等部件，廣泛應用于金屬加工和生物醫學等領域。該復合涂層不需要高溫，也無需附加裝置和材料。研究結果發表在《Membranes》雜志上。

俄科研人員采用等離子體化學分解法，用具有空心陰極和活性陽極的氣體放電裝置來制造多組分活性介質，無需單獨安裝電離和過濾系統。科研人員使用含有參與最終結構形成的SiC（硅、碳）和SiN（硅、氮）鍵的有機硅前體—揮發性低毒液體，通過等離子體中的電子束蒸發鈦，將鈦添加到前體氣體介質中，在處理過的部件表面形成TiN（鈦、氮）、TiC（鈦、碳）或 TiCN（鈦、碳、氮）晶體組成的納米晶相涂層。該工藝比磁控濺射具有更高的沉積速率和高離子通量密度，且成本低、無污染。

注：本文摘自國外相關研究報道，文章內容不代表本網站觀點和立場，僅供參考。

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