涂膠顯影設備-產業百科

涂膠顯影設備（Track）是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、顯影及烘烤設備。近幾年，國內涂膠顯影設備生產企業在技術上取得進展，成功在下游客戶端占據一席之地，涂膠顯影設備產值快速增長，2024年我國涂膠顯影設備行業產值增長到18.26億元。作為光刻機的“重要搭檔”，涂膠顯影設備廣泛應用于集成電路、OLED、LED、化合物半導體&功率器件等先進制造領域。隨著下游電子、汽車、通信等行業需求的穩步增長，以及人工智能、云計算及大數據等新興領域的快速發展，集成電路產業面臨著新型芯片帶來的產能擴張需求，為涂膠顯影設備行業帶來廣闊的市場空間。